蘇凈超凈工作臺的結(jié)構(gòu)說明及原理-具體操作方法
時間：2018-10-30 10:05:00 來源： 作者：admin
蘇凈超凈工作臺的結(jié)構(gòu)說明及原理-具體操作方法講解：蘇凈超凈工作臺其實也可以稱之為局部潔凈棚，或者區(qū)域無塵工作桌等，不同的地區(qū)叫法都會有所不同，總之主要是為實驗室工作提供無菌操作環(huán)境的設(shè)施，以保護(hù)實驗免受外部環(huán)境的影響，同時為外部環(huán)境提供某些程度的保護(hù)以防污染并保護(hù)操作者。
空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境被航空航天工業(yè)使用。即使一個微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤，因此，NASA(美國航空航天中心)和其服務(wù)商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾墻體的車間。而且創(chuàng)了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。
半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為超凈工作臺法。這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上，并使用無脫落的物質(zhì)。在工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸。
在大型車間中按順序排列的工作臺(叫做工作層流罩)組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集過濾器(HEPA高效過濾器)。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺的潔凈度，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量為每分鐘90到100英寸。HEPA過濾器可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中。
一般來說，HEPA高效過濾器裝于超凈工作臺頂部。空氣由風(fēng)扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺表面改變方向，流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式(VLF)工作臺，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺把HEPA過濾器裝于工作臺后部，這種方式被稱為空氣層流平行(HLF)式工作臺。
1. 蘇凈超凈工作臺工作臺原理：
超凈工作臺的潔凈環(huán)境是在特定的空間內(nèi)，潔凈空氣(進(jìn)濾空氣)按設(shè)定的方向流動而形成的。以氣流方向來分，現(xiàn)有的超凈工作臺可分為垂直式，由內(nèi)向外式以及側(cè)向式。從操作質(zhì)量和對環(huán)境的影響來考慮，以垂直式較優(yōu)越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個特定的速度下降通過操作區(qū)，在大約操作區(qū)的中間分開，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區(qū)下部吸入的空氣混合在一起，并由風(fēng)機(jī)吸入后正壓區(qū)，在機(jī)器的上部，氣體通過供高效過濾器重新進(jìn)入操作區(qū)。為補(bǔ)充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補(bǔ)充。這些空氣絕對不會進(jìn)入操作區(qū)，只是形成一個空氣屏障。
2. 蘇凈超凈工作臺工作臺操作方法：
操作前應(yīng)用紫外燈照射30-40分鐘，并檢查操作區(qū)周圍各種可開啟的門窗處于工作時位置。操作盡量在操作區(qū)的中心位置進(jìn)行，在設(shè)計上，這是一個較安全的區(qū)域。
在進(jìn)行操作前應(yīng)對實驗材料有一個初步的認(rèn)識，同時了解自已所使用的設(shè)備的性能及安全等級。嚴(yán)格執(zhí)行實驗室安全規(guī)程。特定病原在任何超凈工作臺中的使用必須進(jìn)行安全性評估。如果實驗材料會對周圍環(huán)境造成環(huán)境污染，就應(yīng)避免在無排氣濾板的型號內(nèi)使用，因為在流動空氣中操作與散毒無異。
任何先進(jìn)的設(shè)備并不能保證實驗的成功，動物檢疫實驗室蘇凈超凈工作臺的使用是以無菌和避免交叉污染為目的，因此熟練的操作和明確的無菌要領(lǐng)是必不可少的。
